從20世紀30年代開始,
光學薄膜逐漸被廣泛應用于日常生活、工業、天文學、軍事、宇航、光通信等領域,在國民經濟和國防建設中起到了重大作用,因而得到了科學技術工作者的日益重視。而今新興技術的發展對薄膜技術不斷提出新的要求,又進一步促使了光學薄膜技術的蓬勃發展。所以近年來,對光學薄膜的研究及其應用一直是非;钴S的課題。
*Nur>11D +IG=|X 一、光學薄膜的制備方法 DC2[g9S>8@ O6Y1*XTmH6 在光學薄膜發展的歷程中,各種先進的薄膜制備技術不斷應用到光學薄膜制備的技術中。這些技術不僅大大拓寬了光學薄膜可以利用的材料范圍,而且極大地改進了光學薄膜的性能和功能,進而給光學薄膜提供了更為寬廣深遠的發展空間。下面介紹幾種常見的光學薄膜制備方法。
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